2021 차세대 리소그래피 학술대회

함께하는 행사 : ASML TechTalk (Nov. 19, 2021)

Session Track

November 17(Wed)

PL-I

Opening Ceremony / Plenary Session I

평창홀,

13:00~14:20 KST

좌장: 이진균(인하대)

PL-I-1

조직위원장 개회사

^*김성수 (연세대)

PL-I-2

한국광학회 회장 축사

^*이윤우 (한국표준과학연구원)

PL-I-3

학술대회 10주년 기념사

^*한재원 (연세대)

PL-I-4

EUV pellicle with 30 years of lithography life

^*오혜근 (한양대)