PS5
Advanced Metrology and Inspection
다층-박막구조 OLED 패널 내부 이물 높이 비파괴적 측정 연구
이정빈, 주지용, *이준호 (공주대학교), 장원혁, 문정태 (삼성디스플레이)
고체내에서의 고차조화파 위상 정합을 이용한 극자외선 빔 제어 Ultraviolet Beam Control using Phase Matching of High Harmonic Generation in Solids
최승만, 김병기, 원승재, 김태원, 김영진, *김승우 (KAIST)
Development of autofocus microscope system that responds to changes in object height in real time
*문지환, 이정석 (명지대학교), 하응주 (머신앤비전), 정중연 (넷사이언스), 김재순 (명지대학교)
플렌옵틱 이미지 모델링 및 측정 비교 분석
장관우, 한석기, 주지용, 차재덕, 이정빈, 김도희, *이준호 (공주대학교)
반도체 결함 검사 장비용 193nm High-NA 대물렌즈 광학 설계
김도희, 주지용, 한석기, 차재덕, 이정빈, 장관우, *이준호 (공주대학교)
Temporal characterization of plasmonic near-field in a gold nanostructure array driven by femtosecond laser pulses
*김경승 (기초과학연구원)
Simulation and fabrication of high-resolution electron beam with carbon nanotube electron sources
Bhotkar Ketan, *Kyu Chang Park (Kyung Hee university)
Robustness enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry
*Daesuk Kim, 최인호, 황국현 (전북대학교)
Model-less TSOM 적용 OLED 입자 결함 분류 및 높이 측정
주지용, 이정빈, *이준호 (공주대학교), 장원혁, 문정태 (삼성디스플레이)
차등진공 시스템과 초소형 전자칼럼의 전자방출원 연구
김형우, 이영복, 안승준, 김대욱, 오태식, *김호섭 (선문대학교)
플렌옵틱 이미지 축해상도 모델링 및 경향성 분석
한석기, 주지용, 장관우, 이정빈, 김도희, 차재덕, *이준호 (공주대학교)
