2021 차세대 리소그래피 학술대회

2021 Next Generation Lithography Conference

Nov. 17-18, 2021
Alpensia Convention Center, Pyeong Chang (Online / Offline Hybrid)
함께하는 행사 : ASML TechTalk (Nov. 19, 2021)
Session Track
Full Program
PS6
Lasers for Lithography

PS6-1
미세 PR 패터닝을 위한 비대칭 접힘 티타늄 사파이어 레이저의 모드 잠금된 극초단 펄스 발생 연구
박성태, 김성수, 정상규, 장정현, 장명재, 김민석, *김현수 (조선대학교 광기술공학과)
Abstract Presentation Video Q&A
PS6-2
EUV 발생용 고출력 대구경 광섬유 레이저 매질로 개발된 역 계단/언덕 혼합형 굴절 구조의 광섬유 벤딩 손실 분석 연구  
장명재, 장정현, 김민석, 김성수, 박성태, 정상규, *김현수 (조선대학교)
Abstract Presentation Video Q&A